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涉及超純水使用的企業(yè)或行業(yè)大有(不限于):
一、半導(dǎo)體制造業(yè)、制藥行業(yè)以及生化行業(yè)(所使用的純水都需要滿足塵粒、無細(xì)菌、無有機(jī)污染物與無機(jī)污染物的條件)。
二、集成電路行業(yè)(用于半導(dǎo)體原材料和所有器皿的清洗、光刻掩模板的制備和硅片氧化用的水汽源等)。
三、其他固態(tài)電子器件、后膜和薄膜電路、印刷電路、真空管的制作企業(yè)也都要使用超純水。
一、金屬元素分析(65種)
Ag, Al, As, Au, Ba, Be, Bi, Ca, Cd, Ce, Co, Cr, Cs, Cu, Dy, Er, Eu, Fe, Ga, Gd, Ge,
Hf, Hg, Ho, In, Ir, K, La, Li, Lu, Mg, Mn, Mo, Na, N, Nd, Ni, P, Pb, Pr, Pt, Rb, Re, Rh, Ru,
Sb, Sc, Se, Sm, Sn, Sr, Ta, Tb, Te, Th, Ti, Tl, Tm, U, V, W, Y, Yb, Zn, Zr.
二、 硅化合物分析
1. 石墨爐原子光譜儀(GFAA);
2. 感應(yīng)耦合等離子體質(zhì)譜儀(ICP/MS)分析;
3. 硅(Si)總量或換算成二氧化硅(SiO2)含量。
三、陰/陽離子分析(7/6種)
1. 陰離子:Fˉ, Clˉ, Brˉ, NO3ˉ, NO2ˉ, PO43-, SO42-
2. 陽離子:Li+, Na+, NH4+, Mg+, K+, Ca2+
四、TOC總有機(jī)碳分析
以TOC分析儀分析水中總有機(jī)碳含量
五、微粒子數(shù)分析
1. 測試粒徑范圍:0.1~0.2μm; 0.2~0.5μm; 0.5~1.0μm; >1.0μm
2. 在線檢測
3. 離線檢測
六、揮發(fā)性有機(jī)化合物分析
分析超純水中60多種揮發(fā)性有機(jī)化合物的含量。
七、細(xì)菌總數(shù)分析
用無菌袋采樣后,在無菌操作臺內(nèi)檢測。
八、微生物快速檢測
采用生物熒光法、現(xiàn)場快速檢測超純水中微生物細(xì)胞ATP(三磷酸腺苷)含量。
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