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SEMI F21潔凈室空降分子污染(AMC)分析 | |
SGS提供潔凈室空降分子污染(AMC)分析服務(wù) | |
確保潔凈室制程車間沒有污染,提升產(chǎn)品生產(chǎn)良率 | |
AMC系指-環(huán)境中有能力沈降于表面上形成單分子層(monolayer)薄膜之氣態(tài)化學(xué)污染物質(zhì)。因半導(dǎo)體晶圓越微小化、平面顯示器尺寸巨大化,制程產(chǎn)品正面臨微量污染物嚴(yán)重威脅,對于無塵室生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度要求也越來越嚴(yán)謹(jǐn)及重要?,F(xiàn)今AMC的污染濃度雖未與目前的潔凈室等級形成直接關(guān)系,但AMC的存在確實(shí)對制程有嚴(yán)重的影響。
AMC常見來源:
制程中使用的化學(xué)品,造成化學(xué)濾網(wǎng)效率降低或釋出
鄰近工廠使用含硫有機(jī)溶劑排放之有機(jī)硫化物
石化制程排放之揮發(fā)性有機(jī)物及其光化學(xué)反應(yīng)物質(zhì)
大氣中硫氧化物,氮氧化物
潔凈室部分建材、機(jī)具、器材等相關(guān)物品所揮發(fā)之VOCs
AMC種類:
1. MA、MB:酸性與堿性空降分子污染采樣與分析
2. MC:可沉降物質(zhì)及有機(jī)氣體分子采樣與分析
3. MD:參雜性空降分子污染采樣與分析
4. MM:金屬空降分子污染采樣與分析
5. S硫化物分子污染采樣與分析
6. 高效濾網(wǎng)及化學(xué)濾網(wǎng)過濾效率分析
7. AMC污染解決方案
SGS潔凈室AMC檢測能提供各種模式的服務(wù):
1. 委托SGS樣品采集分析
客戶沒有現(xiàn)場采樣設(shè)備及采樣經(jīng)驗(yàn),可以委托SGS到現(xiàn)場進(jìn)行采樣與分析,SGS工程師到客戶現(xiàn)場進(jìn)行采樣可以避免采樣過程的失誤與污染。
2. 客戶自行樣品采集后委托SGS分析
如客戶希望自行采樣,SGS可協(xié)助客戶建立采樣能力,以達(dá)到時間與成本的優(yōu)化。
采樣設(shè)備租借、采樣教育訓(xùn)練課程、采樣能力建置打包方案。
![]() | 全球公認(rèn)的質(zhì)量基準(zhǔn),服務(wù)網(wǎng)絡(luò)遍及全球 |
SGS是全球領(lǐng)先的檢驗(yàn)、鑒定、測試和認(rèn)證機(jī)構(gòu),是全球公認(rèn)的質(zhì)量和誠信基準(zhǔn)。SGS在全球擁有超過95000名員工及2400多個分支機(jī)構(gòu)和實(shí)驗(yàn)室,分布在全球140多個國家和地區(qū),服務(wù)網(wǎng)絡(luò)遍及全球。 | |
![]() | 高級別無塵室環(huán)境,高規(guī)格測試儀器 |
SGS半導(dǎo)體超痕量分析實(shí)驗(yàn)室具有符合芯片生產(chǎn)的高級別無塵室環(huán)境(ISO class 4),技術(shù)能力完全為先進(jìn)制程量身定制;搭配國際品牌最高規(guī)格型號的測試儀器,污染物檢出限可達(dá)超痕量級別,為產(chǎn)業(yè)升級定制。 | |
![]() | 為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈制造環(huán)節(jié)提供品質(zhì)管控服務(wù) |
SGS半導(dǎo)體超痕量分析實(shí)驗(yàn)室作為長三角地區(qū)首個外資第三方半導(dǎo)體超痕量分析實(shí)驗(yàn)室,致力為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈制造環(huán)節(jié)提供品質(zhì)管控服務(wù),幫助芯片工廠加強(qiáng)產(chǎn)業(yè)鏈原物料的品質(zhì)把控,提升晶圓生產(chǎn)良率,減少缺陷,為中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展提供服務(wù)支持。 | |
![]() | 專家團(tuán)隊(duì)經(jīng)驗(yàn)豐富,業(yè)務(wù)執(zhí)行快捷高效 |
SGS集團(tuán)在半導(dǎo)體工業(yè)領(lǐng)域服務(wù)具有超過十年的技術(shù)積累,具有經(jīng)驗(yàn)豐富的專家服務(wù)團(tuán)隊(duì)。業(yè)務(wù)執(zhí)行快捷高效,助力企業(yè)降低風(fēng)險,簡化流程,提高營運(yùn)可持續(xù)性。 |
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2)SGS現(xiàn)場采樣:SGS工程師現(xiàn)場采樣后,帶回實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行分析。
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