在半導(dǎo)體制作工藝中，50%以上的工序需要晶圓與超純水直接接觸，80%以上的工序需要進(jìn)行化學(xué)處理，而化學(xué)處理又與超純水有關(guān)，水中的雜質(zhì)會(huì)進(jìn)入晶圓，如果帶入過量的雜質(zhì)，就會(huì)導(dǎo)致器件性能下降，影響產(chǎn)品性能。因此，制備高品質(zhì)的超純水已成為發(fā)展大規(guī)模集成電路的重要前提技術(shù)。

在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，各種產(chǎn)品對水的純度要求各不相同，通常將純水分為純水和超純水兩種。超純水要求所含的懸浮顆粒直徑在0.45微米以下，細(xì)菌數(shù)為0～10個(gè)/毫升，25℃時(shí)電阻率在10兆歐•厘米以上。在國標(biāo)GB/T 11446電子級(jí)水的技術(shù)指標(biāo)顆粒直徑控制甚至比0.1微米更小，25℃時(shí)電阻率在18兆歐•厘米以上，I級(jí)與II級(jí)的雜質(zhì)要求都是ppt等級(jí)。

純水和超純水的雜質(zhì)主要分為三類：

由于雜質(zhì)要求達(dá)到ppt等級(jí)時(shí)，電導(dǎo)率不再是可以表征超純水中雜質(zhì)，特別是金屬雜質(zhì)和陰陽離子雜質(zhì)的有效手段。只有通過用先進(jìn)的分析儀器來測定金屬和離子的真實(shí)含量，才能了解超純水的真實(shí)質(zhì)量。

和一般的測試不同，超純水對測試系統(tǒng)的要求非常高，包括采樣環(huán)境、采樣設(shè)備、人員的經(jīng)驗(yàn)和樣品運(yùn)輸，以及測試的時(shí)效性都是影響超純水測試結(jié)果的重要因素。

SGS配備高端潔凈室、高端分析儀器、超高純度規(guī)格的純水系統(tǒng)和全套在線檢測設(shè)備，引進(jìn)世界先進(jìn)檢測經(jīng)驗(yàn)和系統(tǒng)，以及資深采樣和檢測工程師，能夠針對超純水提供全套超痕量雜質(zhì)分析服務(wù)，以確保您的超純水"超純"，真正達(dá)到超潔凈度要求。

資深SGS工程師前往客戶現(xiàn)場進(jìn)行采樣及在線測試，更符合極端水質(zhì)驗(yàn)證要求。

SGS提供經(jīng)驗(yàn)證的干凈采樣瓶供客戶免費(fèi)使用，同時(shí)提供采樣指引，由客戶采集樣品并寄送樣品到SGS實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行分析，此種是SGS推薦的最佳服務(wù)方式，既保證測試結(jié)果又節(jié)省費(fèi)用支出。
客戶使用自己的采樣瓶并采集樣品寄到SGS實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行分析，采用這種方式可兼顧客戶對樣品瓶的驗(yàn)證。

? 客戶現(xiàn)場在線分析
在線總有機(jī)碳（TOC）測試、在線微粒子（Particle）測試、在線電導(dǎo)率測試、在線溶氧測試，及在線細(xì)菌采集等。

? 實(shí)驗(yàn)室分析
金屬含量、二氧化硅、陰陽離子、總有機(jī)碳（TOC）、微粒子（Particle）、菌落總數(shù)、電導(dǎo)率、PH、碳酸根CO?²-、溶氧、可溶解硅等。

1. 咨詢客服	2. 申請測試	3. 支付費(fèi)用	4. 樣品分析	5. 獲取報(bào)告
在線咨詢 溝通業(yè)務(wù)需求	確定服務(wù)項(xiàng)目 填寫測試申請單	支付測試費(fèi)用 并提交開票資料	客戶寄樣/ SGS現(xiàn)場采樣 進(jìn)行樣品分析	測試完成 獲取測試報(bào)告

* 備注：SGS將提供樣品瓶及采樣指南，以便您順利完成采樣。