CDA，全稱Compression Dryer Air（壓縮干燥空氣），在各行各業(yè)的工業(yè)制程中，特別是電子、半導(dǎo)體、面板以及生技制藥等精密制程領(lǐng)域，得到了廣泛應(yīng)用。在這些行業(yè)中，壓縮空氣的潔凈度至關(guān)重要。CDA系統(tǒng)根據(jù)用途的不同，可分為P-CDA（用于分類(lèi)、包裝、測(cè)試、處理、組裝、蝕刻、清潔等儀器使用）、D-CDA（用于氣動(dòng)設(shè)備儀控驅(qū)動(dòng)）以及B-CDA（用于工安防護(hù)具呼吸）。其中，P-CDA在制程清潔與干燥方面的應(yīng)用尤為關(guān)鍵。由于壓縮空氣會(huì)直接且大量地接觸到產(chǎn)品和設(shè)備，并釋放到潔凈室中，因此除了需要控制室內(nèi)的溫度和濕度外，還必須嚴(yán)格消除任何灰塵或其他污染物。如果供氣源含有水分和細(xì)微顆粒，將會(huì)對(duì)制程中的精密產(chǎn)品造成污染，甚至影響無(wú)塵室的整體環(huán)境。因此，CDA的微污染控制已成為無(wú)塵室管理不可或缺的重要環(huán)節(jié)。

在制定影響制程良率的重要指標(biāo)時(shí)，針對(duì)CDA微污染控制，我們可以在ISO 8573方法的基礎(chǔ)上，結(jié)合SEMI F21 AMC管控項(xiàng)目來(lái)進(jìn)行全面評(píng)估。這些關(guān)鍵指標(biāo)包括：

• 重金屬元素分析
• 油份含量（總碳?xì)浠衔铮┓治?/span>
• 微粒子數(shù)分析（0.1um~10um）
• 酸堿氣體含量分析（陰陽(yáng)離子）
• 水份及露點(diǎn)分析
• 其他有機(jī)污染物分析
• CO/CO2/NOx/SOx/H2S
• 過(guò)濾效率評(píng)估（ISO 12500）

油份含量超標(biāo)的原因
很多廠商在控管油份含量（總碳?xì)浠衔铮r(shí)，常常發(fā)現(xiàn)其實(shí)際值超出了預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)。在CDA中的油份含量的主要來(lái)源包括以下幾個(gè)方面：

1. CDA環(huán)境的空氣來(lái)源：當(dāng)CDA系統(tǒng)從環(huán)境中抽取空氣時(shí)，如果空氣中含有碳?xì)浠衔锓肿?，這些分子在經(jīng)過(guò)壓縮機(jī)多倍壓縮后，往往會(huì)導(dǎo)致CDA中的油份（油氣）指標(biāo)超標(biāo)。
2. 空壓機(jī)設(shè)備本身貢獻(xiàn)：通常情況下，空氣壓縮機(jī)在運(yùn)行過(guò)程中需要使用一定量的潤(rùn)滑油。盡管市面上存在宣稱少油或無(wú)油的空壓機(jī)，但這類(lèi)設(shè)備是否真的對(duì)油份（油氣）零貢獻(xiàn)，還需通過(guò)實(shí)驗(yàn)來(lái)驗(yàn)證。
3. 末端使用點(diǎn)的管路施工殘余或泄露：CDA系統(tǒng)到末端使用點(diǎn)還需要經(jīng)過(guò)幾百米長(zhǎng)的氣體管路，這段長(zhǎng)達(dá)幾百米的氣體管路需要確保不泄露，并且管路材質(zhì)必須保持潔凈，這樣才能保證末端使用點(diǎn)的CDA品質(zhì)符合要求。
   
   

油份含量超標(biāo)解決方式

• 選擇優(yōu)良并有控制的空氣來(lái)源
• 確認(rèn)CDA設(shè)備本身對(duì)油份（油氣）是零貢獻(xiàn)
• 確認(rèn)氣體管路潔凈度
• 使用 CDA專用的過(guò)濾器（針對(duì)水汽、油汽、Particle 三道過(guò)濾程序）

SGS為您提供以下專業(yè)服務(wù)

• 重金屬元素分析
• ISO 8573-5油份含量（總碳?xì)浠衔铮┓治?/span>
• ISO 8573-微粒子數(shù)分析（0.1um~10um）
• ISO 8573-7 微生物（總菌）分析
• ISO 8573-水份及露點(diǎn)分析
• SEMI F21酸堿氣體含量分析（陰陽(yáng)離子）分析
• SEMI F21 有機(jī)污染物化合物種類(lèi)分析
• SEMI F21金屬含量分析
• CO/CO2/NOx/SOx/H2S含量分析
• CDA過(guò)濾器的效率評(píng)估（ISO 12500）