潔凈室空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計
經(jīng)過評估，一旦選定符合需求的設(shè)計院并設(shè)計出潔凈室的原圖，且該設(shè)計圖獲得相關(guān)管理單位的審批后，接下來需要針對潔凈室的空調(diào)系統(tǒng)設(shè)置進(jìn)行如下決策：

• 潔凈室形式（層流或非層流）
• 潔凈室潔凈等級
• 潔凈室氣流沉降模式
• 潔凈室氣流循環(huán)次數(shù)
• 潔凈室氣流方向及氣壓差
• 其他需求

經(jīng)過上述評估及審批流程后，可以規(guī)劃并決定潔凈室空調(diào)系統(tǒng)的具體設(shè)置，包括是否需要采用高架形式、確定FFU的數(shù)量、MAU的大小以及冷熱主機(jī)的功率等。潔凈室的設(shè)計至關(guān)重要，若潔凈等級未能達(dá)標(biāo)，將無法滿足法規(guī)要求及工藝需求。然而，若潔凈等級要求過于超標(biāo)，不僅可能使建造成本成倍增加，還會導(dǎo)致日后的維護(hù)保養(yǎng)費用上升，日常運作也會更加耗能。

潔凈室檢測與維護(hù)
在確認(rèn)潔凈室是否能達(dá)到預(yù)期的潔凈等級時，必須進(jìn)行相應(yīng)的檢測工作。這一過程可以參照ISO 14644國際標(biāo)準(zhǔn)，對潔凈室的以下三種狀態(tài)進(jìn)行確認(rèn)：

• 空態(tài)As-built cleanroom（剛完工的無塵室）
  設(shè)施已經(jīng)建成，所有動力已接通并處于運行狀態(tài)，但無生產(chǎn)設(shè)備、材料或人員在場。
• 靜態(tài)At-rest cleanroom（準(zhǔn)備中的無塵室）
  設(shè)施已經(jīng)建成，生產(chǎn)設(shè)備已安裝，并以用戶和供應(yīng)商共同商定的方式運行，但無人員在場。
• 動態(tài)Operational cleanroom（操作中的無塵室）
  設(shè)施以規(guī)定的方式運行，有規(guī)定數(shù)目的人員在場，并以雙方同意的方式進(jìn)行工作。