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技術干貨 | 芯片ESD防護必修課(一)CDM測試

技術干貨 | 芯片ESD防護必修課(一)CDM測試

原創(chuàng)
2024-09-05 17:00:00
技術文章
作者: SGS_SEMI
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在電子產(chǎn)品的設計與生產(chǎn)過程中,靜電放電(ESD)是一個不可忽視的問題。其中,帶電器件模型靜電放電(CDM-ESD)是一種常見的ESD現(xiàn)象,它主要發(fā)生在芯片因靜電累積而與接地電位接觸時。

芯片ESD防護必修課(一)CDM測試


CDM-ESD原理
CDM-ESD是指芯片因為摩擦生電或其他因素導致其自身內(nèi)部積累了大量電荷。在這個過程中,芯片并未立即受損。然而,當這個帶有靜電的芯片在處理過程中,其引腳與接地電位(如金屬機殼、工具等)接觸時,芯片內(nèi)部的靜電會迅速從引腳流出,形成靜電脈沖,即CDM放電。

(CDM)靜電放電的示意圖
(CDM)靜電放電的示意圖


CDM放電特點

1. 自發(fā)性
CDM放電是器件在外界因素干擾下內(nèi)部積累電荷后自發(fā)產(chǎn)生的。芯片的結(jié)構和電容決定了存儲的電荷量和放電持續(xù)時間,因此CDM波形具有芯片自身的獨特性。

2. 由內(nèi)到外
CDM是器件內(nèi)部電荷向外部放電的過程。

3. 外部電場作用
外部電場是CDM放電的主要誘因之一。芯片在外部電場作用下,內(nèi)部電荷重新分布,形成自發(fā)極化電場。當芯片與接地金屬接觸時,形成自發(fā)的CDM放電。


CDM測試方法
等效電路原理
CDM測試設備通常由一個連接到高壓電源的充電板(Field Plate)和一個接地的Pogo pin組成,Pogo pin可以在待測IC(DUT)的pin之間移動。通過這種方式,可以模擬實際的CDM放電情況。

實際測試各模塊圖
實際測試各模塊圖


等效電路模型
CDM測試儀的電氣模型包括三個主要電容:CDUT(DUT和場板之間的電容)、CDG(DUT和接地層之間的電容)、CFG(場板和接地層之間的電容)。這些電容共同決定了CDM放電的特性和波形。

等效電路圖
等效電路圖


測試波形及參數(shù)
CDM的脈沖持續(xù)時間很短,但電流峰值很大。不同芯片的結(jié)構和電容差異會導致相同條件下CDM波形的顯著差異。

波形圖
波形圖


適用范圍及標準

適用范圍
CDM測試適用于封裝的半導體器件、薄膜電路、表面聲器件、光電器件、集成電路器件和半導體分立器件等。

測試標準
目前,針對CDM測試的主要標準包括ANSI/ESDA/JEDEC JS-002-2022、AEC-Q101-005-REV-A-2019和AEC-Q100-011 Rev-D:2019。這些標準詳細規(guī)定都是針對封裝后的芯片。

測試標準


CDM防護等級分類
CDM防護等級通常以125V、250V、500V、750V和1000V進行劃定,不同標準對防護等級的分類有所不同。

Table1-應力水平等級
Table1-應力水平等級


Table2分立半導體CDM-ESD分類等級

Table2分立半導體CDM-ESD分類等級


車規(guī)級AEC-Q100中的Corner Pin問題

車規(guī)級AEC-Q100標準特別提到了Corner Pin問題,即位于封裝角落處的引腳,這些引腳在DIP、SOIC、QFP、PLCC等封裝方式中較為常見。

QFN封裝引腳示例
QFN封裝引腳示例

帶角引腳(左)和不帶角引腳(右)的BGA封裝引腳示例
帶角引腳(左)和不帶角引腳(右)的BGA封裝引腳示例


判定標準

實驗室通常以IV曲線的偏移作為判定測試是否通過(pass)或失?。╢ail)的標準。SGS選擇以±15%的偏移量作為參考范圍,并在CDM測試前后對引腳的功能進行確認。因此,在進行CDM測試前,建議客戶首先量測引腳的功能以確保其處于正常狀態(tài),并在測試后再次進行確認。


SGS CDM測試設備

CDM測試設備
CDM測試設備


CDM-ESD是電子產(chǎn)品面臨的重要可靠性問題,SGS致力于為客戶提供全方位的可靠性測試服務,幫助您提升產(chǎn)品性能,確保產(chǎn)品安全可靠。

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