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干貨分享 | 藏在潔凈室里的小秘密!

干貨分享 | 藏在潔凈室里的小秘密!

原創(chuàng)
2024-10-18 17:00:00
技術(shù)文章
作者: SGS_SEMI
訪問次數(shù): 753
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鐵頭,是國內(nèi)某家電子器件廠的場務(wù)工程師,每天忙碌于廠房的大小事務(wù),但他樂在其中。因?yàn)樗男闹羞€藏著一個(gè)不為人知的小秘密——對同事軒然的暗暗傾慕。

在廠房內(nèi),每個(gè)人都穿著全套式的無塵服,鐵頭總是偷偷欣賞軒然那雙水汪汪的大眼睛,因?yàn)檫@是唯一能從無塵衣中露出的部分。

但鐵頭還是對需要穿全套式無塵服存在不解,于是向領(lǐng)導(dǎo)詢問:“為什么我們不是半導(dǎo)體廠也需要潔凈室生產(chǎn)?還需要穿全套式無塵服?”

領(lǐng)導(dǎo)告訴鐵頭,說:“隨著科技產(chǎn)品越來越精密,無論是數(shù)字芯片、模擬芯片、光電器件還是其他精密儀器,都需要在控制潔凈度的環(huán)境下生產(chǎn),才能確保產(chǎn)品不受微粒、塵埃、微生物和其他污染物的影響。所以我們在一個(gè)千級及百級潔凈室內(nèi)必須穿戴全套式的無塵服。”


潔凈室潔凈度


潔凈室,也稱為無塵室,是一種特殊設(shè)計(jì)和建造的環(huán)境,它的主要功能是控制空氣中的微粒、塵埃、微生物和其他污染物的濃度,為制造和科學(xué)研究提供極低微粒水平的空氣環(huán)境,以確保在其中進(jìn)行的工作或生產(chǎn)過程不受到外部環(huán)境的污染影響。這對于半導(dǎo)體制造、醫(yī)藥生產(chǎn)、生物科技等對微細(xì)粒子敏感的行業(yè)至關(guān)重要。此外,潔凈室內(nèi)的生產(chǎn)設(shè)備也需要符合潔凈等級的要求,以避免污染產(chǎn)品和潔凈室。

潔凈室的潔凈度水平通常根據(jù)國際標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范進(jìn)行分類,如ISO 14644-1標(biāo)準(zhǔn)。這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)將潔凈室分為不同的類別,從Class 1(最低微粒濃度)到Class 9(較高微粒濃度)。潔凈度使用的自動(dòng)化設(shè)備試用評估是參考ISO 14644-14標(biāo)準(zhǔn)。

ISO14644-1潔凈室利用空調(diào)系統(tǒng)的凈化作用將空氣中的懸浮微粒子顆粒濃度 (顆粒/空氣體積) 控制到一定限量以下, 根據(jù)空氣中顆粒濃度來劃分潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中空氣潔凈度的等級 (如下表)

表


ISO 14644-14 設(shè)備評估基于ISO14644-1基礎(chǔ)上,可依照以下流程進(jìn)行評估:

流程


SGS服務(wù)內(nèi)容

潔凈室設(shè)計(jì)與建造

  • 設(shè)計(jì)圖制作 
  • 建造 (含空調(diào)確效)
  • 次系統(tǒng) - 超純水系統(tǒng)、壓縮空氣系統(tǒng)建置
  • 改善工程

潔凈室訓(xùn)練與顧問

  • 代稽核供貨商潔凈室
  • 潔凈室現(xiàn)場評估與改善建議
  • 潔凈室訓(xùn)練課程
  • 建置潔凈室管理系統(tǒng)與文件

潔凈室量測與確認(rèn)

  • ISO14644-1 潔凈室等級確認(rèn) (HVAC system validation) 與符合性證書
  • ISO14644-2 潔凈室連續(xù)符合性確認(rèn)
  • ISO14644-8 / SEMI F21 空降分子污染(AMC)
  • ISO14644-14 生產(chǎn)設(shè)備在潔凈室使用適用性評估(微粒逸散濃度)
  • ISO8573 壓縮空氣潔凈等級量測
  • ISO3696 超純水品質(zhì)量測
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