微機電系統(tǒng)（Micro Electro-Mechanical Systems，簡稱MEMS）壓力傳感器在汽車工業(yè)中有著極為廣泛的應(yīng)用。它們小巧高效，能夠測量各種類型的流體或氣體的壓力，并將這些物理量轉(zhuǎn)換為電信號輸出，從而實現(xiàn)對汽車系統(tǒng)的精確控制和監(jiān)測。這些傳感器廣泛應(yīng)用于輪胎壓力監(jiān)測系統(tǒng)（TPMS）、發(fā)動機管理系統(tǒng)、廢氣再循環(huán)（EGR）系統(tǒng)、剎車系統(tǒng)、燃油系統(tǒng)、空調(diào)系統(tǒng)和懸掛系統(tǒng)等關(guān)鍵領(lǐng)域。然而，如何確保MEMS壓力傳感器的可靠性，成為保障行車安全的重要環(huán)節(jié)。

針對此問題，AEC汽車電子協(xié)會特別制定了MEMS壓力傳感器的可靠性測試認證標準AEC Q103-002——基于失效機理的車用MEMS壓力傳感器應(yīng)力測試認證標準，旨在通過指定的應(yīng)力測試，確保MEMS壓力傳感器設(shè)備在應(yīng)用中達到一定的質(zhì)量/可靠性水平。

溫度等級與機械等級
在AEC Q100的基礎(chǔ)上，定義了MEMS壓力傳感器設(shè)備的附加溫度等級，見下圖：

所有AEC-Q100中定義的汽車等級都適用；僅當環(huán)境工作溫度范圍超過AEC-Q100零級要求時才需要上述等級。

同時，針對MEMS壓力傳感器的實際應(yīng)用場景，AEC Q103-002定義了MEMS壓力傳感器設(shè)備的機械等級，見下圖：

應(yīng)力測試
AEC Q103-002基于MEMS壓力傳感器設(shè)備的環(huán)境和功能載荷的相互作用還定義了應(yīng)力測試，如下圖：

鑒定測試確定的基礎(chǔ)

a. 環(huán)境載荷包括壓力、溫度和濕度

b. 功能載荷包括機械和化學

c. 載荷集及其狀態(tài)（例如，恒定、循環(huán)/脈沖、快速變化、沖擊）的多樣化相互作用定義了獨特的鑒定測試及其順序

• 壓力載荷狀態(tài)定義了壓力壽命測試、壓力脈沖測試和校驗/爆破測試：
  • 壓力、溫度、濕度和化學載荷之間的相互作用定義了壓力測試前的預處理和化學測試。
  • 壓力、溫度和濕度之間的相互作用使得HAST（高溫高濕存儲試驗）和UHST（超高溫高濕存儲試驗）比THB（溫度濕度偏置試驗）和AC（自動氣候控制）更受青睞。
• 化學載荷狀態(tài)定義了如腐蝕性氣氛、化學耐受性、鹽水浸泡等化學測試：
  • 溫度、濕度、化學和機械載荷之間的相互作用定義了化學測試后和機械測試后的內(nèi)部目視檢查和引線鍵合拉力測試。

測試組別
標準根據(jù)上述的應(yīng)力測試要求，對所有可靠性測試項劃分了組別：