質(zhì)控AMC · 智局新凈界
半導(dǎo)體AMC氣相分子污染物環(huán)境監(jiān)測(cè)與質(zhì)控研討會(huì)

時(shí)間：2025年3月28日 13:00-16:30
地點(diǎn)：上海國(guó)際綠色低碳概念驗(yàn)證中心

半導(dǎo)體工藝的革新正以前所未有的速度推動(dòng)產(chǎn)業(yè)升級(jí)，然而，AMC(氣相分子污染物)對(duì)制程良率的隱形威脅，已成為橫亙?cè)诟叨诵酒圃祛I(lǐng)域的嚴(yán)峻挑戰(zhàn)，如何實(shí)現(xiàn)AMC的精準(zhǔn)監(jiān)測(cè)與控制，不僅關(guān)乎企業(yè)成本，更是半導(dǎo)體行業(yè)當(dāng)前亞待解決的重要課題。

值此全球半導(dǎo)體風(fēng)向標(biāo)——上海國(guó)際半導(dǎo)體展覽會(huì)（SEMICON China 2025）舉辦之際，SGS攜手復(fù)旦大學(xué)、上海國(guó)際綠色低碳概念驗(yàn)證中心共同舉辦“半導(dǎo)體AMC氣相分子污染物的環(huán)境監(jiān)測(cè)與質(zhì)控研討會(huì)”。本次研討會(huì)將匯聚行業(yè)專家，共同探討半導(dǎo)體行業(yè)微環(huán)境監(jiān)測(cè)與治理的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)與愿景，深入分析AMC污染問題及其解決方案，為行業(yè)發(fā)展提供有力支持。

誠(chéng)摯邀請(qǐng)您的參與！

嘉賓價(jià)紹

李宗河-SGS半導(dǎo)體超痕量實(shí)驗(yàn)室 技術(shù)經(jīng)理
20多年半導(dǎo)體檢測(cè)品質(zhì)保證經(jīng)驗(yàn),精通半導(dǎo)體廠房、設(shè)備及原物料的潔凈度評(píng)估、采樣分析、實(shí)驗(yàn)室分析、解決方案,為臺(tái)積電、ASML、東京威力、日月新、盛美半導(dǎo)體、中芯國(guó)際、APPLE等500+海內(nèi)外廠商提供專業(yè)服務(wù)與咨詢。

王麗娜-復(fù)旦大學(xué) 環(huán)境科學(xué)與工程系研究員
復(fù)旦大學(xué)環(huán)境科學(xué)與工程系研究員、博士生導(dǎo)師，長(zhǎng)期致力于環(huán)境健康與解決方案研究，擔(dān)任上海市室內(nèi)環(huán)境凈化行業(yè)協(xié)會(huì)副會(huì)長(zhǎng)，中國(guó)分析測(cè)試協(xié)會(huì)質(zhì)譜分會(huì)委員，《中國(guó)環(huán)境科學(xué)》青年編委。

譚穩(wěn)-Tofwerk China/南京拓服工坊 高級(jí)技術(shù)經(jīng)理
博士，在挪威奧斯陸大學(xué)和瑞士Tofwerk AG公司工作多年，長(zhǎng)期從事化學(xué)電離質(zhì)譜技術(shù)在氣態(tài)揮發(fā)性有機(jī)物和無機(jī)物的監(jiān)測(cè)應(yīng)用工作，目前已發(fā)表30多篇?dú)鈶B(tài)污染物監(jiān)測(cè)相關(guān)SCI論文，授權(quán)發(fā)明專利3項(xiàng)，參與編制多項(xiàng)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。

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