在半導(dǎo)體芯片、生物制藥等尖端領(lǐng)域，超純水比飲用純凈水純凈千萬倍，幾乎不含雜質(zhì)。而如何準(zhǔn)確采集超純水樣本，確保其品質(zhì)檢測的可靠性，成為了科技產(chǎn)業(yè)鏈中至關(guān)重要的一環(huán)。

什么是超純水？為何它如此重要？
超純水是通過特殊工藝去除水中幾乎所有污染物的水，其電阻率大于18MΩ*cm，接近理論純水（18.3MΩ*cm）。

隨著各行業(yè)產(chǎn)品日益精密，對(duì)質(zhì)量的要求也越來越高，超純水因此被廣泛應(yīng)用于生物科技、醫(yī)藥、食品、汽車、電子、面板、半導(dǎo)體等多個(gè)領(lǐng)域。在半導(dǎo)體廠，超純水可用于超純藥劑的稀釋，將超純化學(xué)品稀釋至制程所需濃度，因?yàn)榛瘜W(xué)品為超純等級(jí)，所以所用水也必須是超純等級(jí)。此外，在每一個(gè)芯片制造程序中，很多環(huán)節(jié)都會(huì)使用超純水清洗產(chǎn)品或設(shè)備，以避免產(chǎn)品受到污染。

超純水采樣的 “嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn)”
由于超純水質(zhì)量要求極高，在采樣容器的材料、潔凈度，采樣流程，分析設(shè)備以及分析環(huán)境等方面都需達(dá)到最高標(biāo)準(zhǔn)。GB/T、ISO、ASTM、SEMI 等國內(nèi)與國際規(guī)范，以及客戶自身的工藝規(guī)范，對(duì)超純水的雜質(zhì)指標(biāo)要求都極為嚴(yán)苛，涉及電阻率、TOC、離子雜質(zhì)、金屬雜質(zhì)、細(xì)菌、微顆粒數(shù)等多個(gè)方面。

超純水采樣技術(shù)
即便目前市場上的分析設(shè)備越來越精密，但采樣過程（包括環(huán)境與器具）仍是能否精確檢驗(yàn)出這些微量雜質(zhì)的重要因素。除了采樣容器需依據(jù)所測試項(xiàng)目選用不同材質(zhì)，并預(yù)先用不同清洗方式清洗至極致干凈外，采樣過程中還需盡量避免受到環(huán)境污染。尤其需要注意的是，純水設(shè)備通常不放在潔凈室內(nèi)，因此針對(duì)供水點(diǎn)（非使用點(diǎn)）的采集尤為重要，能采用閉環(huán)方式的應(yīng)盡量采用閉環(huán)方式，例如電阻率、TOC、細(xì)菌、微顆粒數(shù)都可采用閉環(huán)式在線測試或采樣。

然而，并非所有的超純水采樣都能采用閉環(huán)方式。對(duì)于離子雜質(zhì)與金屬雜質(zhì)的采樣，就需要采用一些特殊的方法，以避免受到環(huán)境的影響。常用以下方式：

1. 采樣瓶多次潤洗法

■ 優(yōu)點(diǎn)：操作快捷、便攜、適應(yīng)復(fù)雜場地

■ 缺點(diǎn)：完成最后一次潤洗后充填樣品的幾秒鐘，有曝露在采樣環(huán)境的風(fēng)險(xiǎn)

2. 凈化微環(huán)境箱

■ 優(yōu)點(diǎn)：經(jīng)HEPA過濾顆粒后的空氣環(huán)境，可防范環(huán)境中金屬污染風(fēng)險(xiǎn)

■ 缺點(diǎn)：

• 無法過濾氣態(tài)離子污染
• HEPA材質(zhì)outgassing帶來的額外污染
• 采樣箱本材質(zhì)outgassing帶來的額外污染
• 體積大，不便移動(dòng)，需電源

3. 充氮氮?dú)庀?/strong>