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技術(shù)干貨 | 半導(dǎo)體高效生產(chǎn)運(yùn)營(yíng)的關(guān)鍵——廠務(wù)系統(tǒng) (FMCS)

原創(chuàng)

2024-09-02 17:00:00

技術(shù)文章

作者： SGS_SEMI

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半導(dǎo)體制造，作為科技產(chǎn)業(yè)的核心，對(duì)環(huán)境要求極高。無(wú)論是生產(chǎn)功率器件、邏輯器件還是其他類(lèi)型的集成電路器件，整個(gè)晶圓加工過(guò)程(襯底、外延、器件及封裝) ，每一步都需要在高度專(zhuān)業(yè)化的生產(chǎn)制造廠（FAB）中進(jìn)行。這一復(fù)雜而精細(xì)的生產(chǎn)過(guò)程離不開(kāi)半導(dǎo)體廠務(wù)系統(tǒng)（FMCS）的支持，其核心功能是確保半導(dǎo)體工廠的高效運(yùn)營(yíng)和產(chǎn)品質(zhì)量。

FMCS：半導(dǎo)體生產(chǎn)的指揮中樞
廠務(wù)系統(tǒng)（FMCS)，如同工廠的“中樞系統(tǒng)”，負(fù)責(zé)監(jiān)控和管理生產(chǎn)過(guò)程中的輔助設(shè)備和工作環(huán)境，通過(guò)實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)采集和分析，確保設(shè)備正常運(yùn)行、環(huán)境參數(shù)符合生產(chǎn)要求。廠務(wù)工程師和管理人員則扮演著“醫(yī)生”的角色，及時(shí)調(diào)整生產(chǎn)環(huán)境、排除設(shè)備隱患、處理異常報(bào)告、維護(hù)保養(yǎng)，保障工廠高效運(yùn)轉(zhuǎn)。

半導(dǎo)體高效生產(chǎn)運(yùn)營(yíng)的關(guān)鍵——廠務(wù)系統(tǒng) (FMCS)

水與氣的精細(xì)化管理
為了確保設(shè)備正常運(yùn)行，就需要利用各種質(zhì)量數(shù)據(jù)來(lái)協(xié)助管理，這些數(shù)據(jù)可能來(lái)源于廠務(wù)端的監(jiān)測(cè)設(shè)備，或者通過(guò)實(shí)驗(yàn)室采樣檢測(cè)獲得。在FAB中，水、氣、電等設(shè)備的質(zhì)量管理對(duì)生產(chǎn)制造的良率有著顯著影響。

FAB的水管理
從取水來(lái)源、純水制造、純水設(shè)備維護(hù)保養(yǎng)、純水品質(zhì)指標(biāo)控制到水的回收利用與廢水處理等，每個(gè)環(huán)節(jié)都需要精確控制，確保水質(zhì)符合生產(chǎn)要求。
FAB的氣管理
包含新風(fēng)系統(tǒng)的運(yùn)作、空調(diào)系統(tǒng)的維護(hù)保養(yǎng)、高效濾網(wǎng)與化學(xué)濾網(wǎng)的管理、廠內(nèi)空氣質(zhì)量指標(biāo)控制、壓縮空氣系統(tǒng)維護(hù)保養(yǎng)、壓縮空氣質(zhì)量的指標(biāo)控制等，以確保生產(chǎn)環(huán)境潔凈、穩(wěn)定。

水與氣的精細(xì)化管理

SGS：您的廠務(wù)系統(tǒng)專(zhuān)家
SGS半導(dǎo)體超痕量實(shí)驗(yàn)室擁有海內(nèi)外豐富的FAB廠務(wù)系統(tǒng)合作經(jīng)驗(yàn)，提供全面的品控指標(biāo)采樣與分析服務(wù)，助力您的廠務(wù)系統(tǒng)高效運(yùn)行。

SGS為您提供以下服務(wù)：

潔凈室潔凈指標(biāo)分析 (ISO 14644)：顆粒、風(fēng)速、風(fēng)量、壓差、溫度、濕度、氣流、靜電
潔凈室SEMI F21 AMC (空降分子污染)：空氣中酸堿離子、有機(jī)氣體、金屬與硼磷濃度
潔凈室高效濾網(wǎng)與化學(xué)濾網(wǎng)的過(guò)濾效率
純水系統(tǒng)指標(biāo)分析(GB/T 11446)：阻抗、顆粒、陰陽(yáng)離子、微量金屬、TOC（總有積碳)、硅（二氧化硅、可溶解硅）、細(xì)菌含量等顆粒、風(fēng)速、風(fēng)量、壓差、溫度、濕度、氣流、靜電
純水管路使用材料品質(zhì) SEMI F57測(cè)試：陰陽(yáng)離子、微量金屬、TOC (總有積碳)、表面粗燥度
CDA (壓縮空氣) 質(zhì)量分析 (ISO 8573)：油份、水分、顆粒、細(xì)菌
CDA (壓縮空氣) 過(guò)濾器效果分析 (ISO 12500)